Heidelberg Instruments ist ein Unternehmen, das sich zur Aufgabe gemacht hat, maskenlose Laserlithografiesysteme für die Herstellung von Mikrostrukturen zu entwickeln und zu fertigen.

Anwendungsfelder sind Mikrooptik, Advanced Packaging, IC, Flachbildschirme, Mikrofluidik, Sensoren und andere analoge und digitale elektronische Komponenten. Die von Heidelberg Instruments hergestellten Systeme kommen in mehr als 50 Ländern in Forschung und Entwicklung, Rapid Prototyping und industrieller Produktion zum Einsatz.

Seit dem Jahr 2018 ist das Hightech-Unternehmen SwissLitho mit Spezialisierung auf die Rasterthermische Sondenlithografie fester Bestandteil von Heidelberg Instruments. Heidelberg Instruments entwickelt und baut Belichtungssysteme nach dem neuesten Stand der Technik.

Weitere Steckenpferde sind die Graustufen-Lithografie, In-Situ Inspektion und Messtechnik, die Nicht-invasive Nanolithografie, Positioniersysteme, Optik und Elektronik.

Die Ursprünge des Unternehmens gehen zurück bis ins Jahr 1984. Forscher der Universität Heidelberg und des Europäischen Laboratoriums für Molekularbiologie riefen Heidelberg Instruments ins Leben. Die Gründer konzentrierten sich vor allem auf die Bereiche biomedizinische Optik, konfokale Mikroskopie sowie Strukturierung und Inspektion von Wafern.

Fünf Jahre später wurde das Unternehmen in Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH umbenannt. Zudem standen die lithografische Strukturierungswerkzeuge für die Halbleiterindustrie im Vordergrund.

Kennzeichnend für das Jahr 1991 war der Vertrieb des erstes Direktschreib-Laserlithografiesystems. Ende der 1990er Jahre expandierte die Firma in Richtung Asien und Nordamerika. Im Jahr 2014 errichtete die Firma neben dem Hauptstandort in Heidelberg ein weiteres Prozess- und Applikationslabor in China. Im Jahr 2019 präsentierte das Unternehmen neue Produkte, wie den Nano Frazor Explore.

Das Unternehmen, dessen Geburtsstunde im Jahr 1984 schlug, ist in der baden-württembergischen Stadt Heidelberg zu Hause. Neben diesem Standort, der zugleich die Europazentrale darstellt, ist das Unternehmen in den USA sowie in der Schweiz angesiedelt. Weitere Standorte befinden sich in China, Japan, Südkorea und Taiwan. (tl)

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